大氣中的空氣由壓縮機(jī)加壓并送入緩沖罐。然后，緩沖罐中的加壓空氣被引導(dǎo)到位于低溫劑后面的過濾器組，以便從空氣中分離水滴和微觀污染物。在個過濾步驟之后，空氣中剩余的水分由內(nèi)部空氣干燥器單元除去。經(jīng)過處理的干燥清潔空氣的為-70°C，流向變壓吸附（PSA）模塊的其中一個吸附模塊。PSA中的碳分子篩吸附干燥空氣中，氧氣和二氧化碳分子。在吸附模塊飽和后，過程閥切換到第二吸附模塊。然后，將吸附模塊快速減壓并吹掃以除去吸附的氧氣。通過在兩個吸附模塊之間持續(xù)切換，可以實(shí)現(xiàn)氮?dú)獾暮愣ㄝ敵觥Ｒ虼耍ㄟ^在低溫噴劑中使用的PSA技術(shù)，向液化器提供高純度的氮?dú)狻＃呒兊獨(dú)馔ㄟ^緩沖罐流入在儲存容器中的低溫冷卻器中。

　　

　　碳分子篩對氧和氮在不同壓力下某一時間內(nèi)吸附量的變化差異曲線：

　　一段時間后，分子篩對氧的吸附達(dá)到平衡，根據(jù)碳分子篩在不同壓力下對吸附氣體的吸附量不同的特性，降低壓力使碳分子篩解除對氧的吸附，這一過程為再生。根據(jù)再生壓力的不同，可分為真空再生和常壓再生。常壓再生利于分子篩的*再生，易于獲得高純度氣體。